真空：真空气氛炉运用真空泵从炉腔中抽出气体，构成真空环境。这样能够防止环境气体对资料的影响，也能够防止氧化等反响产生。在真空状态下，炉内的氧气和水分被抽出，能够有用防止氧化和气体反响，然后确保物品的纯度和质量。
惰性气体：有时为了防止资料在高温下氧化，真空气氛炉运用惰性气体来代替真空环境。经过预先处理的惰性气体在炉内构成一种保护层，能够保持资料的化学稳定性并防止氧化。在气氛环境下，经过参加特定气体，如氢气、氮气、氩气等，能够完成不同的热处理作用。
控制系统：为了确保真空气氛炉操作的准确性和可靠性，它一般具有微处理器控制系统。该系统监测和调整炉内的温度、压力和气体流量，以确保高温处理的进程能够到达所需的要求，确保热处理的准确性和稳定性。