医用氧气瓶：是臭氧发生器氧气源*代产品。优点是一次性投入少，氧气纯净。缺点是氧气瓶是消耗材料，需经常换氧气瓶。长期运行成本高，要经常更换，使用起来比较麻烦。在氧气瓶充足场合可以使用氧气瓶。
医疗家用制氧机：是臭氧发生器氧气源第二代产品。采用分子筛技术，利用空气作为原料，通过分子塔生成高浓度氧气．氧气浓度在90%以上。优点是设备容易获得。和氧气瓶相比，没有消耗，不用经常换氧气瓶。缺点是该设备本来用于家庭医疗不是臭氧设备，不能长期连续运行，不耐臭氧，不耐潮湿。通常是3l-5l/分钟产量。
臭氧制氧机：是臭氧发生器氧气源第三代产品。采用分子筛技术，利用空气作为原料，通过分子塔生成高浓度氧气．氧气浓度在90%以上。采用防腐蚀材料，气源深冷，多级除湿装置。整个设备耐腐蚀，耐潮湿，温升低。山美水美cfy系列制氧机产量通常有每分钟5l-50l。
分体式制氧系统：用于大型臭氧发生器配套气源。采用独立压缩机，冷干机，分子塔，储氧罐，电气控制柜等。zui小产量每小时1立方米，zui大产量每小时可达300立方米。造价高，系统复杂，体积庞大。