bio2.200
bio2.300
运动范围xy（µm）
100
200
300
分辨率xy（nm）
0,1
0,2
0,3
典型的噪声基准xy（nm）
0,01
0,02
0,03
全方位的重复性xy（nm）
0,2
0,4
0,6
线性化（典型的）
0,02%
0,02%
0,02%
谐振频率x / y（hz）
500/400
400/350
300/250
刚度(n/µm)
0,6/0,5
0,5/0,4
0,4/0,3
最da负载（kg）-水平使用
1
1
1
最da负载（kg）-垂直使用
0,5
0,5
0,5
传感器
siliconhrsensor
siliconhrsensor
siliconhrsensor
尺寸wxlxh(mm)
206,5x152,5x15,6
206,5x152,5x15,6
206,5x152,5x15,6
材料
alorinvar
al
al
电缆长度（m）
2
2
2
推jian控制器
standard
standard
standard