sf6充气设备具有良好的绝缘及灭弧性能，在电网中使用十分普遍。此类设备在安装及检修过程中，必须对设备进行真空处理。真空处理的要求十分严格，但在此过程中存在真空装置与施工人员因各种问题出现失误的可能。如何避免出现问题，需要对真空处理过程中易出现的失误进行分析。
1 sf6设备真空处理现状
在sf6充气设备的安装和检修过程中，由于施工单位的施工器具及人员素质参差不齐，存在多种不利于真空处理严格按照规范实施的因素。对于真空处理装置，在对sf6充气设备抽真空过程中，常出现未使用出口带电磁阀的装置的情况。真空处理的持续时间与被抽真空的密闭气室容积有关，在对容积较大的气室抽真空时，为了达到真空度要求，真空装置需要长时间运行。在此过程中，如果装置电源故障，则出口不带电磁阀的装置便无法满足使用要求。在真空度测量方面，使用麦氏真空计直接对sf6充气设备进行真空度测量的方法也不可取。
sf6充气设备为密封设备，已进行真空处理，并充入sf6气体的设备无法通过外观检查发现问题，存在一定的安全隐患。为了避免事故的发生，需回收sf6并重新进行真空处理，这将耗费大量的时间和物力，进而造成了不必要的浪费。
2 真空处理装置的使用分析
2.1 目的与标准
sf6设备在生产、运输、安装的过程中，其内部微观结构比较粗糙，且在大气环境下极易受潮。进行真空处理的目的主要是去除设备内部的水分，而水在真空度为133 pa左右的气化速度最快。
此外，真空度的保持也能作为设备检漏的重要依据。《高压开关设备六氟化硫气体密封试验方法》（gb 11023―1989）的第4.1.1条规定，抽真空检漏应在真空度为113 pa后，维持真空泵运转30 min后停泵，30 min后读取真空度a，5 h后再读取真空度b，如果b-a