氦质谱检漏仪由离子源、分析器、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的，我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。
在质谱室的离子源n内，气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成束，并以一定的速度经由缝隙s1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。调节加速电压u使氦离子束m2恰能通过缝隙s2到达收集*k而形成离子流。利用弱电流量测设备，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于m2的离子束（如图中m1，m3）则以不同的偏转半径而被分开。
氦质谱检漏仪的功能
氦质谱检漏仪，在电力行业的作用，sf6高压开关和氧化锌避雷器是发电厂及野外输变电的重要组成部分，往往因泄漏造成大面积或局部停电，影响工业生产，氦质谱检漏设备厂家，又妨碍人们的正常生活。因此带来的经济损失有时是难以估量的。高压开关在连箱是铝铸件，往往容易有砂眼，且漏孔结构复杂，正压氦质谱检漏设备厂家，不易清洗。一般采用检漏盒或氦罩法，即把被检件抽真空，然后向罩内充入氦气，等待一定时间，确定总漏率的大小。因氦气的用量小，正压氦质谱检漏设备厂家，检测灵敏度就高。
氦质谱检漏仪工作原理
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计，用氦气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴*电离真空计等组成。离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子。质量分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同，在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，在设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙，打在收集器上。收集放大器收集氦离子流并送人到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。冷阴*电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。
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