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根据所得光谱图进行定性鉴定或定量分析。由于不同元素的原子结构不同，当被激发后发射光谱线的波长不尽相同，即每种元素都有其特征的波长，故根据这些元素的特征光谱就可以准确无误的鉴别元素的存在(定性分析)，而这些光谱线的强度与试样中该元素的含量有关，因此还可利用这些谱线的强度来测定元素的含量(定量分析)苏州英飞思科学仪器有限公司苏州英飞思科学仪器有限公司
能量色散x萤光与波长色散x萤光光谱分析技术特别研究与应用了里层三个电子轨道即k，l，北京锡合金分析仪，m上的活动情况，其中k轨道为接近核子，每个电子轨道则对应某元素一个个特定的能量层（伊诺斯合金分析仪中国服务商）。在xrf分析法中，从光发射管里出来的高能初级射线光子会撞击样本元素。这些初级光子含有足够的能量可以将里层即k层或l层的电子撞击脱轨。这时，原子变成了不稳定的离子。
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