HORIBA STEC SEC-N100系列产品应用

2025/5/16 3:55:22发布25次查看

适用于多种不同的产业应用。可实现大范围控制从10sccm至1000slm。此款mfc包含多种不同通讯方式（数字式/模拟式， cc-link®, profibus™, 以及 ethercat®），高精度（± 1.0% s.p. *1），快速响应。同时这款mfc支持多气体/多量程功能，减少客户成本。
*1包括sec-n177r
n目前的sec-z500x 系列产品主要使用于半导体制程, 而sec-n100 作为它的重要补充，主要针对非芯片半导体制程而开发。
n同半导体制程一样，非芯片半导体工艺也已经形成相对统一的制造标准， sec-n100 系列产品能够满足广大客户对不同制程规范的要求。

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