hva不锈钢真空闸阀11000系列标准技术规格:
阀门材质:
-阀门主体
304不锈钢
-焊接波纹管轴封
am - 350
阀门密封方式
-高真空
氟橡胶
-高真空
铜垫圈/氟橡胶
真空:
-压力范围
高真空1x10-9mbar,高真空1x10-10mbar
-漏率
< 2x10-9mbar l/s
-差压关闭
1 bar (任意位置)
-开启前大压力
≤ 30 mbar
烘烤温度（不含电磁阀）:
-弹性体密封阀盖
150°c
-金属密封阀盖
-开启温度：200°c
-关闭值：150°c
-驱动方式
手动60 °c,气动60 °c
机制
手动：
手摇曲柄
电磁阀供电电压
120 vac 50 /60 hz
电磁阀可选电压
24, 200, 240 vac 50/60 hz或12, 24 vdc
电磁阀位置指示器,大
115 vac或28 vdc, 20 ma
气动送风：
80 psig
使用寿命:100,000启闭次数(具体视实际使用情况决定)
公称通径:dn 16 - 800 mm
下图是某oled镀膜机厂家配置上海伯东美国hva高真空阀门
oled镀膜机主要面向半导体照明客户,需要镀膜机性能稳定,器件效,,对于生产oled镀膜机的客户,为了节省抽空时间和防止基片的污染,会选择在loadlock与主腔间进行快速传样,由于两腔室工作的真空度要求不同,会在腔室之间增加高真空阀门来隔离系统.
伯东美国hva真空阀门已广泛应用于oled镀膜机
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上海伯东:罗女士
伯东企业（上海）有限公司专注于pfeiffer,氦质谱检漏仪,intest等