光刻开始于一种称作光刻胶的感光性液体的应用。图形能被映射到光刻胶上,近红外光刻胶价格,然后用一个developer就能做出需要的模板图案。光刻胶溶液通常被旋转式滴入wafer。如图2.5所示,wafer被装到一个每分钟能转几千转的转盘上。几滴光刻胶溶液就被滴到旋转中的wafer的中心,离心力把溶液甩到表面的所有地方。光刻胶溶液黏着在wafer上形成一层均匀的薄膜。多余的溶液从旋转中的wafer上被甩掉。薄膜在几秒钟之内就缩到它后期的厚度,溶剂很快就蒸发掉了,wafer上就留下了一薄层光刻胶。然后通过烘焙去掉后面剩下的溶剂并使光刻胶变硬以便后续处理。镀过膜的wafer对特定波成的光线很敏感,特别是紫外(uv)线。相对来说他们仍旧对其他波长的,玻璃光刻胶价格,包括红,橙和黄光不太敏感。所以大多数光刻车间有特殊的黄光系统。
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光刻胶定义
光刻胶是一大类具有光敏化学作用(或对电子能量敏感)的高分子聚合物材料,是转移紫外*或电子束曝照图案的媒介。光刻胶的英文名为resist,又翻译为*蚀剂、光阻等。广泛应用于集成电路(ic),封装(packaging),微机电系统(mems),光电子器件光子器件(optoelectronics/photonics),平板显示器(led,光刻胶价格,lcd,oled),太阳能光伏(solar pv)等领域。
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光刻胶简介
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光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一,特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展,化学光刻胶价格,更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域。1954 年由明斯克等人首先研究成功的就是用于印刷工业的,以后才用于电子工业。 [1] 光刻胶是一种有机化合物,它被紫外光*后,在显影溶液中的溶解度会发生变化。硅片制造中所用的光刻胶以液态涂在硅片表面,而后被干燥成胶膜。
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