在电弧作用下sf6的分解物如sf4，s2f2，sf2，sof2，so2f2，sof4和hf等，它们都有强烈的腐蚀性和毒性。因此在电力系统gis等应用sf6的工作场所，要加装sf6气体泄漏监测设备，sf6气体监测的主要方法有一下四种:
1)电化学技术(tgs830、tgs832)费加罗传感器或卤素气体传感器。
电化学技术的原理是被检测气体接触到200°c左右高温的催化剂表面，并与之发生相应的化学反应，从而产生电信号的改变，以此来发现被检测气体。电化学技术其成本低、寿命长、结构简单，可以连续工作的特点。
2)高压击穿技术。
电i击穿技术是从sf6在电力上的典型应用--作为绝缘气体应用在gis开关柜中演变而来的。其工作原理是根据sf6气体绝缘的特性，从置于被检测空气中的高压电*间电压的变化来判断空气中是否含有sf6气体。因其结构相对简单，成本低，检测精度相对高的特点。
3)红外光谱技术(iac510)
红外光谱吸收技术(又称激光技术)的原理是sf6作为温室气体，*生产商，对特定波段的红外光有很强烈的吸收特性。红外光谱技术的特点是成本高，结构复杂，灵敏度高，不受环境的影响和干扰，对环境的温度和湿度的变化所带来的检测误差很小，由于其是采用主动抽取测试点气体的原理，带来的效果是发现泄漏早，反应迅速。同时系统结构对工程实施中的布线也带来了很大的方便。
4)电子捕获ecd原理
电子捕获检测器(electron capture detector)，苏州工业园区*，简称ecd。 电子捕获检测器也是一种离子化检测器，它是一个有选择性的高灵敏度的检测器，它只对具有电负性的物质，如含卤素、硫、磷、氮的物质有信号，物质的电负性越强，也就是电子吸收系数越大，检测器的灵敏度越高，而对电中性(无电负性)的物质，如烷烃等则无信号。
直接电解法 将硫、、*、或等加入到无水中，以镍为阳*进行电解即可制得*。用与无水电解时，以镍作*，铁作阴*，温度为－10～20℃，电压为7～20v。电解产物应除去杂质;催化氧化法 金属氧化物为催化剂，于300℃下，*回收，用空气氧化，该法缺点是收率过低。热解法，在500～2000℃使sf4热解，但该法的转换率及收率皆低，采用微波放电分解sf4亦可。
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