如在不同温度下使用湿度传感器，其示值还要考虑温度漂移的影响。*，相对湿度是温度的函数，温度严重地影响着空间内的相对湿度。温度每变化0.1℃。将产生0.5%rh的湿度变化（误差）。使用场合如果难以做到恒温，则提出过高的测湿精度是不合适的。
多数情况下，如果没有的控温手段，或者被测空间是非密封的，±5%rh的精度就足够了。对于要求控制恒温、恒湿的局部空间，或者需要随时跟踪记录湿度变化的场合，再选用±3%rh以上精度的湿度传感器。
而精度高于±2%rh的要求恐怕连校准传感器的标准湿度发生器也难以做到，更何况传感器自身了。相对湿度测量仪表，即使在20-25℃下，要达到2%rh的准确度仍是很困难的。通常产品资料中给出的特性是在常温（20℃±10℃）和洁净的气体中测量的。