平行平晶是以光波干涉原理为基础，利用平晶的测量面与试件的被测量面之间所出现的干涉条纹来测量被测量面的误差程度。
平行平晶具有高精度的平面性和平行性。
平行平晶用于检定千分尺、杠杆千分尺、杠杆卡规和千分尺卡规等量具测量面的平面度和两相对测量的平行度。平行平晶共分四个系列，每个系列各四块。
平行平晶技术要求
组别 两工作面的平行度 工作面的平面度 2/3d范围内的平面度
i（0-25） 0.6 0.1 0.05
ii（25-50） 0.6 0.1 0.05
iii（50-75） 0.8 0.1 0.05
iv（75-100） 1 0.1 0.05