石英光罩业内又称光掩模版、掩膜版，英文名称mask或photomask，光罩的功能就是利用光刻机发出的光通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光，这就是光刻的作用，类似照相机照相。照相机拍摄的照片是印在底片上，而光刻刻的不是照片，而是电路图和其他电子元件，通俗来讲光刻机就是放大的单反，光刻机就是将光罩上的设计好集成电路图形通过光线的曝光印到光感材料上，形成图形。光罩的作用如此重要，所以其表面平面度的检测需求也非常高，一般的测量工具并不符合光罩的精度需求，使用接触式测量方式还有可能对光罩表面形成划痕等瑕疵，所以海科思激光平面度测量仪是测量光罩平面度的理想选择。
激光平面度测量仪相较于通用型测量工具明显的优点就是：①精度高②无损③效率高。激光平面度平整度测量仪通过高精度激光测头对工件表面进行扫描取点，以获取工件表面的轮廓数据，再以此做平面度及翘曲度计算，无论是抽检或是全检皆适用，只需要预设好平面度、翘曲度、平整度等数据的监控值，测量完成后就会在屏幕上直接观看当前工件ng/ok以及详细数据。激光平面度测量仪的高运算快速测量的特性使得测量一片工件只需要0.5秒，对比传统的平面度测量方法大大缩减了用时，帮助光罩制造业快速提升产业链。
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