该传感器采用多晶硅弹簧置放于晶圆片表面形成一个微机械结构再通过电路调理信号,使输出的电压正比于振动速度,故称振动速度传感器。当机械设备产生振动,芯体同时产生运动,该传感器可以测量机械设备壳体动态造成的运动,冲击和振动。
该传感器稳定性能好可靠、密封性好、安装方便、使用使用寿命长等特点。
技术指标:
1、频率响应:0.5~200hz(-3db)2、灵敏度:位移型:8mv/μm&plu**n;5%(可根据客户调整)速度型:300mv/mm/s(可根据客户调整)3、**可测量程:同灵敏度相关联,灵敏度越大,量程越小。灵敏度越小,量程越大。4、输出形式:-10v~+10v,4~20ma5、幅值线性度:<3%6、供电电源:&plu**n;12vdc、+24vdc、-24vdc7、输出接线形式:直接出线、航空插头型8、采用铝合金或不锈钢外壳封装。9、使用温度范围:-30~60℃10、环境条件:防尘,防潮(95%不冷凝)
