温差电偶真空计的原理
温差电偶真空规管由玻璃制成，通过小管8和真空系统相接，在规管内的两根引线上装有热丝3，另外两根引线上焊着一对温差电偶4，温差电偶的另一端与热丝在a点焊接。
由于在低压下，气体的热传导系数与压强成正比，所以在通过热丝的电流(90～150ma)一定的条件下，热丝的温度随着规管内真空度的提高而升高，温差电偶电动势也随之而增大。因此，通过测量温差电偶电动势，可以确定出被测系统的真空度，温差电偶真空计则是根据这个原理制成的。温差电偶真空计的电离真空计的测量范围1～5×10-2pa。
热阴极电离真空计的原理
电离真空规管是一只三极管，通过b管与真空系统相接，使用时，在灯丝电路中通以电流5ma，灯丝受热后便发射电子，由于栅极为正电压，使电子加速，中途与气体分子相碰，气体的密度越大，碰撞机会越大，产生的正离子也越多。另外，由于板极电压为负，便吸引正离子在板极电路中形成板极电流ip，气体分子密度越大(即压强越大)，板极电流也越大，反之越小。