3d轮廓仪
仪器型号：
美国kla-tencor d-120
检测项目：
1、薄膜、涂层厚度测量；
2、台阶高度测量；
3、表面粗糙度测量；
4、2维薄膜应力测量；
5、平坦度、波纹度、曲率测量；
6、表面轮廓（缺陷、形貌等）测量。
应用范围：
可用于微电子、半导体、太阳能、薄膜、材料等领域实现纳米级别表面二维形貌测量。垂直分辨率蕞大1a；垂直范围0-1mm；单次扫描长度范围小于55mm。
制样要求：
长宽小于30mm，厚度小于20mm，
3d轮廓仪一款测量工具，该工具可以通过电脑软件对一件物体进行测量，测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级，那三维光学轮廓仪具有哪些原理呢，下面就让我们来了解一下吧。
3d轮廓仪
一、原理：
3d轮廓仪基于白光干涉扫描技术，用于样品表面显微镜检查。精密仪器测量的显着特点是它可以达到纳米级的检测精度，并能快速获取待测工件表面的三维形状和数据。其主要目的是用于成品的质量管理，以确保良好的产量。可广泛应用于各类精密工件表面质量要求如：半导体，微机电，纳米材料，生物医学，精密涂料，科研院所，航空航天等领域。可以说，只要测量微小范围内关键部件的纳米粗糙度，轮廓等参数，除了3d轮廓仪外，没有其他仪器和设备可以满足精度要求。
二、3d轮廓仪的特点是：
1、业界蕞高的垂直分辨率，最强大的测量性能；
2、放大0.5至200倍；
3、在任何放大倍数下的子级到毫米垂直测量范围；
4、3d轮廓仪测量硬件的独特设计，以提高生产环境的可靠性和可重复性；更高的振动获得专利的自动校准公差和gr测量功能；
5、 vision64软件在多核处理器下运行，大大提高了三维表面测量和分析速度，加快了数据处理速度增加了几倍;将分析速度提高十倍；
6、无与伦比的无缝数据拼接功能；
7、3d光学分析仪具有高度直观的用户界面，业界最强的实用性，易操作性和强大的分析能力极大优化的用户界面大大简化了测量和数据分析过程;独特的视觉操作工具，一个可以自己设置数据输出的接口。
以上是关于3d轮廓仪的相关介绍，更多测试需求请联系铄思百检测工程师。