质量流量计与传统热式质量流量计的测量原理类似，流体的质量流量与流过传感器所带走的热量相对应。在流量芯片上，1个微热源的上、下游各对称地设置1个温度传感器，还设置了1个环境温度传感器，用来调节环境温度变化对微热源的影响。流体的质量流量，微热源上、下游的温度变化及微热源的功率是芯片的主要参数。传感器所测量的流量为与温度和压力无关的质量流量。尽管如此，控制电路的温度补偿是流量计温度效应的主要来源。
质量流量计的优点为：
①量程比大，mf－fd系列气体质量流量计的量程比达100∶1。
②始动流量小。可有效解决机械式流量计的小流量漏计问题，减小燃气公司的供销差。
③直接进行质量计量，不需温度、压力补偿，减少计量损失。
④压力损失小，能保证系统节能运行。
⑤重量轻。与容积式流量计相比，mems质量流量计的重量大大减轻。
⑥无可动部件。
⑦全电子智能功能。专门设计的电子控制部件能提供信号传输、事故报警、ic卡控制等功能；内置存储器进行历史数据记录，为深入分析和管理用户用气创造了条件；网络通信功能可轻松实现城市燃气仪表的系统管理，为城市燃气实现调峰、阶梯收费等措施创造了条件。