真空热处理技术，顾名思义真空热处理是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术，通过在低真空、中等真空、高真空等环境下，对物件进行热处理。一般真空热处理也属于气氛控制热处理，能对物件实现五氧化、无脱碳、无渗碳等作用，从而达到表面光亮净化的效果。那么一般常见的真空热处理采用哪些工艺原理实现其加工目的呢？以下根据网上资料，对真空热处理采用的工艺原理进行简述归纳：
1.金属在真空状态下的相变特点。在与大气压相差范围内的真空下，固态相变热力学、动力学不产生什么变化。在制订真空热处理工艺规程时，可以依据在常压下固态相变的原理。可以参考常压下各种类型组织转变的数据。
2.真空脱气作用：提高金属材料的物理性能和力学性能。
3.真空脱脂作用。
4.金属的蒸发：在真空状态下加热，工件表面元素会发生蒸发现象。
5.表面净化作用：实现少无氧化和少无脱碳加热。
6.金属实现无氧化加热所需要的真空度。
上述几点整理内容并不完整，有所遗漏，欢迎补充。真空热处理是目前应用较广的无氧化热处理技术，也是能够体现当前热处理生产技术程度的主要标志之一。物体部经真空热处理后，产生的畸变小并且处理质量高，同时，真空热处理工艺本身操作灵活，无公害。因此真空热处理不仅是某些特殊合金热处理的重要手段，而且在一般工程用钢的热处理中也获得应用，特别是工具、模具和精密耦件等，经真空热处理后使用寿命较一般热处理有较大的提高。真空热处理凭借前沿的加工处理方式以及其清洁无污染的技术，目前它已成为工模具生产中的前沿技术手段。