对于铁的测定,使用了一个校准系数c,它取决于注入、掺杂浓度和陷阱浓度,这在多晶硅中必须加以考虑。通过mdp,可以对多晶硅和单晶硅进行高分辨率的铁浓度测定,并且由于模拟和多年的研究,还具有很高的精度。
照明前的寿命图和产生的铁图
关于铁的测定和校准系数的依赖性的更多信息,请阅读:
[1] s. rein and s. w. glunz, journal of applied physics 98 (2005).
[2] n.schüler, t.hahn, k. dornich, j.r. niklas, solid state phenomena to be published
陷阱浓度测定的工具
mdpmap
单晶和多晶晶片寿命
测量装置......
mdppro
单晶和多晶晶片和晶砖
寿命测量装置......
mdpspot
低成本台式寿命测量系统,用于在不同制备阶......