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MDP少子寿命测试仪 | 铁浓度测定

2024/12/14 2:51:38发布32次查看
有了mdpingot和mdpmap系列,就可以全自动地测量砖块和硅片中的铁浓度,而且分辨率非常高。铁硼对解离前后的寿命测量是一种**使用的测定硅片中铁的方法。在高掺杂浓度的掺硼硅中,因为它被用于光伏应用,几乎100%的电活性铁以feb对的形式存在。在有足够能量的光照下,这些铁对可以在fe和b中解离。这个过程是可逆的,在一段时间后,所有的feb对都会再次结合。feb和fei有不同的重组特性,因此解离对测量的寿命有影响。在这种影响下,铁的浓度可以通过以下方式确定:
对于铁的测定,使用了一个校准系数c,它取决于注入、掺杂浓度和陷阱浓度,这在多晶硅中必须加以考虑。通过mdp,可以对多晶硅和单晶硅进行高分辨率的铁浓度测定,并且由于模拟和多年的研究,还具有很高的精度。
照明前的寿命图和产生的铁图
关于铁的测定和校准系数的依赖性的更多信息,请阅读:
[1] s. rein and s. w. glunz, journal of applied physics 98 (2005).
[2] n.schüler, t.hahn, k. dornich, j.r. niklas, solid state phenomena to be published
陷阱浓度测定的工具
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