用于高纯度气体的e-flow压力调节器设计用于半导体工厂，具有更高的纯度和最小的外部泄漏，颗粒和死区。它用于半导体工厂设施（设备）的钢瓶柜、连接件、阀箱和设备制造商的集成单元的各种气体。由于它是一种密封产品，因此非常适合特殊高压气体和有毒、腐蚀性和气体。
用于高纯度气体的压力调节器阵容l系列：接头对焊规范、外密封金属结构产品。r系列; 本产品具有旋入式（npt）规格和外部软密封结构。 焊接规范是插入焊接。d系列：带先导结构的电子控制压力调节器，将l和r系列与压力控制单元相结合。u系列; 主体采用特殊规格、对焊规格加工，外封为金属密封结构。
关于潮汐式和自由式调节阀我们的标准规格是自由提升阀芯法，但海外制造商使用潮汐隔膜式结构的情况很多。 根据结构的不同，各有利弊，但对于高纯度支架，由于在气密性检查期间无死区和无手柄操作的想法，自由型是标准配置。
半导体制造用压力控制设备一览表完善
功能
高压
中压：6mpa以下
低压1mpa以下
焊接规格金属垫片配件
旋入式双压缩环接头
集成规格
气缸安装
调节阀结构
针型
平面密封型散装气体
兼容气体
7种特殊高压气体
腐蚀性气体 有毒气体
非气体
燃气加热器
标准流量
~60吨/分钟
100~500荷兰吨/分
700~1500荷兰吨/分
6000nl/分钟~