x射线和β射线法是无接触无损测量,但装置复杂昂贵,测量范围较小。因有放射源,使用者必须遵守射线防护规范。x射线法可测极薄涂层、双涂层、合金涂层。β射线法适合涂层和底材原子序号大于3的涂层测量。电容法仅在薄导电体的绝缘涂层测厚时采用。
近年来引入微机技术后,采用磁性法和涡流法的金属涂层测厚仪向微型、智能、多功能、高精度、实用化的方向进了一步。测量的分辨率已达0.1微米,精度可达到1%,有了大幅度的提高。它适用范围广,量程宽、操作简便且价廉,是工业和科研使用广泛的金属涂层测厚仪器。
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