等离子体刻蚀机主要针对惰性气体，有机聚合物材料经o2、n2、he、ar等非聚合性无机气体处理后与空气接触，会在表层引入官能团，形成交联结构层或生成自由基。一般说来，plasma对表面进行处理后，表层亲水性会大大提高。
对pet薄膜经材料改性后的结晶度及及时性进行分析。介质阻挡放电环境下处理后，薄膜的水接触角随能量密度的增加而减小，且结晶度的双向拉伸，pet薄膜的接触角最小。空气plasma对ldpe薄膜的刻蚀作用尤为明显，因此表面形貌变化尤为明显，在环境下，粘结后的剥离强度与处理前相比明显增大。这是由于空气palsma产生的活性基团和ldpe表层相作用从而增加活性粒子，引人含氧基团。此外，由于等离子体刻蚀机处理的及时性，处理后应立即进入下一道工序。
铁氟龙经plasma体射流处理后，材料表面亲水性能增强。由sem图片发现，经处理后的ptfe表层产生了密集的微米级颗粒，从而使表面粗糙度增加，并且这些颗粒随处理时间的延长，密集度以及粗糙度也在不断增加。这是因为ptfe表层c-f键断裂引人含氧基团。
经等离子体刻蚀机改性处理后，材料表面的亲水性和表面粗糙度大大提高，并与工作压力呈线性增长趋势。经等离子处理后的氮含量增加，提高了聚碳酸氨酯的生物相容性。