1.原水－原水加压泵－多介质过滤器－活性炭过滤器－软水器－精密过滤器－一级反渗透设备－中间水箱－中间水泵－离子交换器－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－微孔过滤器
2.原水－原水加压泵－多介质过滤器－活性炭过滤器－软水器－精密过滤器－一级反渗透－ph调节－中间水箱－第二级反渗透（反渗透膜表面带正电荷）－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－微孔过滤器－巴氏消毒—用水点
3.原水－原水加压泵－多介质过滤器－活性炭过滤器－软水器－精密过滤器－一级反渗透机－脱气膜-------中间水箱－中间水泵－edi系统－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－微孔过滤器－巴氏消毒－用水点
4.原水－原水加压泵－多介质过滤器－活性炭过滤器－软水器－精密过滤器－一级反渗透－ph调节－中间水箱－第二级反渗透（反渗透膜表面带正电荷）---ro水箱－ro水泵－—toc分解器----edi系统--纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－微孔过滤器－巴氏消毒－用水点
常用工艺流程分为2种：
1.预处理系统-反渗透系统-粗混合床-精混合床-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(≥15mω.cm)
2.预处理-反渗透-edi装置-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(≥15mω.cm)
优缺点比较
一种采用离子交换树脂其优点在于初投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。
二种采用反渗透作预处理再配上edi装置，这是目前制取超纯水经济，环保用来制取超纯水的工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其缺点在于初投资相对以上两种方式过于昂贵。