本次给大家介绍一款电动压电螺钉调平台——zt50n81k8，它是专为三轴调平而设计，具有三个直线促动点，通过二维θx、θy 偏转和 z 向升降运动可对载物台进行调节，其主要的特点就是定位精度高，承载能力强，电动操作更便捷，因其高精度、可控性强、实用性高，因而广泛应用于科研、激光应用、工业自动化等领域。
zt50n81k8压电螺钉调平台台面直径160mm，直线行程可达3mm，θx、θy 偏转角度为±1.5°，角分辨率可达0.3μrad，承载可达2kg，具有出色的长期稳定性，且能在断电情况下继续保持在设定位置，断电自锁。实物外观如下图所示。
产品特点
• 三维偏转运动• 亚微弧度角分辨率• 断电自锁• 电动操作更灵活
产品应用
• 科学研究• 光学• 实验室系统结构搭建• 三轴调平• 晶圆调平• 工业应用
技术参数
型号 zt50n81k8
台面直径 160mm
运动自由度 θx、θy、z
电动轴 3个
角度范围 ±1.5°
直线行程 3mm
直线运动方向 z
角分辨率 0.3μrad
承载能力 2kg
促动器 压电螺钉促动器
工作温度 10~40℃
重量 1800g
压电螺钉连接器 rj11
半导体领域调平
zt50n81k8压电螺钉调平台以其高精度、大行程及多维运动，使其非常适用于半导体领域的调平，例如晶圆调平等。
配套控制器
芯明天e53.c4k压电控制器可用于驱动zt50n81k8压电螺钉调平台，采用24vdc供电，4通道版本可使用切换方式驱动4支压电螺钉，采用数字信号控制，与压电螺钉间可通过网口连接，且体积小、易集成。
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