扫描长度 50μm-55mm
单次扫描zui大数据点 120,000个
允许样品zui大高度 100mm （根据配置不同会有所变化）
垂直范围量程 524μm （1mm选配）
zui高垂直分辨率 1 å （6.55μm量程范围下）
样品台 150mm，x-y-θ手动调节
探针压力范围 1-15mg （0.03mg选配）
dektak150型是veeco公司2007年正式推出的型探针式表面轮廓仪（台阶仪）产品，主要应用于薄膜厚度测量、样品表面形貌测量、薄膜应力测量、样品表面粗糙度/波纹度测量、以及样品表面三维形貌测量等众多领域。
dektak 150集四十余年的技术积累和创新于一身，为满足用户不同应用方向的需要提供了多种可选配置。坚固的铝质材料铸成的机身框架以及支撑部件显著提高了仪器的重复精度，并降低了地板噪音对测量的干扰。基于windows xp的dektak随机配备软件系统界面友好，为用户提供了完善的分析功能。“一键式”操作方式使得测量工作简单易行。通过选配三维成像附件套装还可以极大地扩充仪器的功能。
太阳能行业控制薄膜厚度的*选择！
集40多年的探针轮廓技术创新于一身，该系统在行业内的表现遥遥，以重现性*和标准扫描范围zui大而著称。
它提供各种各样的配置和附加选项，用于程序化测量、低探针力表征和细节分析
dektak 探针式轮廓仪其主要特点可归为如下四点：
优良的数据重现性
操作的简易直观性
数据处理的高能性
仪器外观的简洁性
主要应用于薄膜厚度测量、物体表面形貌测量、应力测量和平整度等精密测量。其测量原理是通过纪录探针在物体表面的垂直位移，从而达到测量物体表面台阶高度、粗糙度等物理参数的目的。
款表面台阶仪dektak 150已发货与primestar solar公司，一家新兴的为太阳能电池市场提供太阳能模块的厂商。
dektak 150具有*的薄膜测量分辨率，能够测量10nm甚至更薄的薄膜，来满足太阳能电池制造需求。
dektak 150能够提供的重复性测量、灵活的应用以及简便的操作，同时非常高兴能够以此来支持primestar solar公司光伏事业的发展。
dektak可以监控表面粗糙度，表面状况对光吸收过程中光子吸收很关键，会影响太阳能电池效率。