1、优异的平面分辨率：lext ols5000 3d测量激光显微镜配备的两套光学系统（彩色成像光学系统和激光共焦光学系统）让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。405nm紫色激光和专用高数值孔径物镜可以捕捉到传统光学显微镜、白光干涉仪或红色激光显微镜无法发现的精细纹理和缺陷。
2、专用lext物镜：专用lext物镜系列近期新增了提升测量性能的长工作距离物镜和普通工作距离的10倍物镜。所有专用lext物镜的测量性能均可获得保证。
3、4k扫描技术—检测陡峭斜面和近纳米级台阶的形貌：4k 扫描技术可在x轴方向扫描4096像素，是传统机型的四倍。由此提高了高度测量的可靠性，改善了分辨率，信噪比提升了两倍。ols5000显微镜无需图像处理就能检测几乎垂直的陡峭斜面和极低的台阶。
4、简单分析：简单分析功能可仅在指定测量范围内测量台阶、线宽、表面粗糙度和体积。自动检测结果变动的原因让测量结果保持稳定。
可检测210毫米高度的样品：载物台上可放置高度210毫米的样品。重复性和准确性等测量性能均确保与标准相同。