臭氧在uv光子照射下产生羟基自由基，将有机挥发物 vocs分解成低分子化合物、二氧化碳和水，达到无污染排放的目的。该技术操作简单易行。已处理的废气：氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物 h2s、vocs类，苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如 co2、h2o等。
生物降解技术
生物降解技术早应用于脱臭，近年来逐渐发展成为vocs的新型污染控制技术。该技术中，含有vocs的废气由湿度控制器进行加湿后通过生物滤床的布气板，沿滤料均匀向上移动，在停留时间内，气相物质通过平流效应、扩散效应、吸附等综合作用，进入包围在滤料表面的活性生物层，与生物层内的微生物发生好氧反应，进行生物降解，终生成co2和h2o。生物降解法设备简单，运行维护费用低，无二次污染等优点，尤其在处理低浓度、生物可降解性好的气态污染物时更显其经济性。体积大和停留时间长是生物法的主要问题，同时该法对成分复杂的废气或难以降解的vocs去除效果较差。