特点
• 行程范围18μm
•满行程下，使用频率可达95hz
•负载能力300g
•可选配闭环传感器
•直驱机构
典型应用
• 金刚石钻头进给
•精密金属加工
•高速工具控制
•fts快刀伺服车削系统
•工件定位
•精密加工与研磨
•大负载工件精密定位
相移时间
开环满行程18μm、95hz，相位160μs。
可选配闭环传感器
p92.x20可选配集成sgs应变传感器，以消除pzt压电陶瓷的迟滞与蠕变特性，使得输入控制电压与输出位移成线性关系，传感器输出0~10v电压信号。
技术参数
型号：p92.x20
行程：18μm@95hz（150v驱动）
9μm@190hz
1μm@600hz
闭环传感器：sgs
闭环线性度：0.1%f.s.
闭环重复定位精度：15nm
承载能力：300g
刚度：120n/μm
空载谐振频率：4000hz
外形尺寸：l110×w95×h42mm
重量：2100g
工作温度：-20~80℃
出线长：1.5m，可加长
应用实例