确认是否满足洁净度等级，必须使用尘埃粒子计数器。
iso14464-1：
空气洁净度等级（n） 大浓度限值（每立方米空气粒子）
（大于等于所标粒径的粒子）
0.1 um 0.2 um 0.3um 0.5um 1um 5um
iso
class1 10 2
iso
class 2 100 24 10 4
iso
class3 1000 237 102 35 8
iso
class4 10000 2370 1020 352 83
iso
class5 100000 23700 10200 3520 832 29
iso
class6 1000000 237000 102000 35200 8320 293
iso
class7 352000 83200 2930
iso
class8 3520000 832000 29300
iso
class9 35200000 8320000 293000
新版gmp
洁净度级别
悬浮粒子大允许数/立方米
静态
动态(3)
≥0.5μm
≥5.0μm(2)
≥0.5μm
≥5.0μm
*(1)
3520
20
3520
20
b级
3520
29
352000
2900
c级
352000
2900
3520000
29000
d级
3520000
29000
不作规定
不作规定
尘埃粒子计数器的核心部件是光学系统及动力采样系统。由内部真空泵或外部采样泵以一定流量进行气体采样。当采样气体中的尘埃粒子通过激光光源等发生的光束时会发生光散乱现象，再通过光电变换器将光信号转变为脉冲信号，不同粒径的尘埃粒子产生的脉冲信号也不同，粒径越大得出该脉冲信号就越强，粒径越小产生的脉冲信号就越弱。通过统计单位时间内（采样时间≥1min）产生的不同脉冲信号的数量，即可得知不同粒径的尘埃粒子个数。
加野kanomax凭借多年的经验，研发、制造的激光尘埃粒子计数器：手持式2.83l小流量激光尘埃粒子计数器model 3888/3889、3887ser、便携式28.3l/50l激光尘埃粒子计数器model 3905/3910，在微电子、生物制药、食品卫生、空调净化、科研院所等众多测试领域得到广泛应用。