一、真空腔体里还有残留气体，也就是说想分析一下这些气体的成分或者比例，怎么办？
选用四极质谱仪（rga）。
二、什么是四极质谱、它有什么功能及应用？
科锐诗汀代理的四极质谱（rga)是一种用于确定系统中存在的残余气体及数量的仪器。用于检漏、工艺标定和诊断。应用于真空镀膜、热处理、半导体、太阳能等行业。
三、真空设备都要配四极质谱（rga）吗？
如果镀膜工艺要求高，建议配上rga，比如很多的镀膜机（光驰、新科隆）标配就有rga。
四、四极质谱仪（rga）可以检漏吗？
可以。
五、配了四极质谱仪（rga）还需要配检漏仪吗？
很多公司两款都有配，因为检漏仪的功能只是检漏，而且一般都是全套带泵组的，使用时非常简单。而四极质谱（rga）要在一定的真空度上使用，且不止是检氦气，它的功能主要是分析真空腔体内的气体成份，检漏只是它功能的一种。
六、inficon产品型号有哪些，各有什么特点，如何选择？
transpector cpm紧凑型过程监控器（带分子泵组和采样阀组、可自动控制、大真空度1.2大气压）
transpector sps 残余气体分析仪（带分子泵组和采样阀组、可自动控制、大真空度1.2大气压）
cpm与sps比较 sps是cpm的简化版本，功能更简化。
transpector xpr3+ 残余气体分析仪（质量数在0-100amu,大工作气压1.3x10-2mba）
transpector mph 残余气体分析仪（质量数0-100amu、0-200amu、0-300amu;大工作气压5x10-4mba）
transpector mps 残余气体分析仪（质量数0-100amu、0-200amu、0-300amu;大工作气压5x10-4mba）
mph与mps比较，测量间隔小、零爆小、灵敏度高。
qmg 700 分析质谱仪
a、小于5x10-4mba 可选择mph/mps。
b、大气压 可选择sps/cpm。
c、小于1.3x10-2mba 可选择xpr3。
关于质量数的选择：
1、100amu
典型应用于非反应性工艺过程，如pvd镀膜、热处理、激光、普通气体分析。检测h2、he、h2o、n2、co、o2、ar、co2等小分子气体。
2、200/300 amu
典型应用于反应性工艺过程，如etch/cvd等，监测残余气体及工艺气体如ccl4，碳氢化合物、sicl4、sf6、c3f8、wf6和xe等高分子材料
七、关于参数指标上的解读？
1、检测器类型有fc和em各是什么？
fc是法拉第杯 em是增强模块。
2、小可检分压强是什么意思？
是真空腔里存在气体小压强，就像一杆秤，如果小于小压强，就不能秤出数据来。
3、仪器报警是怎么回事？
一般是灯丝烧坏了。灯丝是耗材，一般客户会备用一些。
4、rga使用方便简单吗？容易学吗？
科锐诗汀提供详细的使用说明书，简单易上手。