美国alicat mc-gas质量流量控制器性能
可用范围:大0-5000 slpm,小0-0.5 sccm /0-500sμlm(有关库存范围,请参阅零件号选项卡)
调节比:200:1(mc)或100:1(mcs)
标准精度校准,nist可追溯:+/-(读数的0.8%+满量程范围的0.2%)
可选的高精度校准,nist可追溯:+/-(读数的0.4%+满量程范围的0.2%)
重复性:满量程范围的0.2%
典型控制响应时间常数:50-100 ms(pid调节时低至25 ms)
无需预热时间
美国alicat mc-gas质量流量控制器运行条件
兼容气体:98(mc)或130(mcs)预加载可选气体校准; 可与composer定义的其他混合物
工作温度:-10°c至+ 60°c
大内压(静态):145 psig(160 psia)
耐压:175 psig(190 psia)
stp / ntp:用户可选择(默认为25°c和1 atm stp / 0°c和1 atm ntp)
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