加工定制是	品牌AML
型号AMl	产品类型AML
额定功率10kW	额定电压48V
额定转速1000rpm	产品认证CCC

英国aml高温真空步进伺服位移台。
·         行程： 50 to 250mm；
·         分别率：1um/步；
·         无回滞，刚性强；
·         承载能力：20kg；
·         可堆叠 xyz三轴平台
·         真空度：1 x 10-10 mbar；
·         烘烤温度：200°c；
·         交叉滚子轴承；
·         防辐射： 1 x 106 gy ；
·         可以根据客户要求定制；
规格
单位
ltvl
ltvh
行程
mm
50/ 100 / 150 /200 /250
50/ 100 / 150 /200 /250
整步分别率
μm
5
1
速度
mm/s
15
4
推荐真空环境中速度
mm/s
2
0.8
重复定位精度
μm
1
0.2
水平负载能力
kg
20
20
负载力矩
nm
<5
<5
轴向力 @ 500hz iφ = 1a
kg
3
10
间隙
μm
0
0
转动, 俯仰 & 偏载 (无负载
μrad
<25
<25
roll compliance
μrad/nm
33
33
pitch & yaw compliance
μrad/nm
33
33
直线度
μm
<1.3μm / 100mm
<1.3μm / 100mm
使用步进电机
d35.1
d35.1
真空度
mbar
1 x 10-10
1 x 10-10
温度
°c
200
200
mtbf (5kg负载和30%占空比)
hrs
15,000
10,000