等离子清洗机plasma cleaner又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合，通过等离子清洗机的表面处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂.
等离子清洗机应用范围如小型和微型部件的精密清洗；在胶结、上漆之前对塑料部件进行活化；蚀刻和去除部分诸如聚四氟乙烯，光刻胶等之类的各种材料；对疏水性和亲水性涂层、减摩擦涂层等的部件进行喷涂处理。
等离子清洗机用于光学器件、电子元件、半导体元件、激光器件、镀膜基片、终端安装等的超清洗。清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。等离子清洗机能移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质，去除金属材料表面的氧化物。等离子处理设备清洗半导体元件、印刷线路板、atr元件、人工晶体、天然晶体和宝石。等离子机清洗生物芯片、微流控芯片、沉积凝胶的基片。
等离子清洗机用于封装领域中的清洗和改性，增强其粘附性，适用于直接封装及粘合。改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。涂覆镀膜领域中对玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面采用等离子清洗机改性，使其活化，增强表面粘附性、浸润性、相容性，显著提高涂覆镀膜质量。牙科领域中对钛制牙移植物和硅酮压模材料表面采用等离子清洗机进行预处理，增强其浸润性和相容性。医用领域中修复学上移植物和生物材料表面采用等离子清洗机进行预处理，增强其浸润性、粘附性和相容性。对医疗器械的消毒和杀菌。
关键词：等离子清洗机 电子显微镜 芯片