微机电系统，也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、liga、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
微机电系统是一种先进的制造技术平台。它是以半导体制造技术为基础发展起来的。mems技术采用了半导体技术中的光刻、腐蚀、薄膜等一系列的现有技术和材料，因此从制造技术本身来讲，mems中基本的制造技术是成熟的。但mems更侧重干超精密机械加工，并要涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面也扩大到微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理学的各分支。（文章部分来源于网络）
华测精密压电 mems 分析仪/微机电系统将数字、模拟和通信电路功能与精密多铁非线性材料试验机的现有非线性材料测量功能相结合，所有功能均由 radiant 的 vision 可编程测试环境监督。piezomems分析仪不仅测量商业产品的致动器和传感器元件的压电特性，还将与产品的电子逻辑通信，与嵌入式微处理器通信，提供异步电压和脉冲，并测量传感器频率。