加工定制是	品牌KT
型号1F	功率1000W
最大电压220V	主要用途质量流量计专用流量显示仪、高等学院实验室专供流量显示仪

简介气体配比器主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 
该气体配比器可以外接3种气体,采用质子型流量计,气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.
用途1.半导体制造行业中气体流量控制
2.各种真空镀膜设备 
3.特种材料表面处理 
4.气体燃烧控制 
5.混和配气系统 
6.泄漏探测系统 
7.环境检测与分析设备 
8.分析仪器的气体流量计量与控制 
9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所
技术参数产品型号
cs200
产品类型
高精度型,快响应型,全金属密封型,数字型,抗电磁干扰
流量量程
2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
产品精度
±0.35％f.s.(＜35% f.s.)  ±1.0% s.p.(≥35% f.s.)
重复精度
±0.2% fs
线性
±0.5% f.s.
响应时间
≤0.8sec
工作温度范围
(0~50)°c
耐压
3mpa
密封材料
金属密封 metal
输入输出信号
(0~5)vdc,(0~20)ma,(4~20)ma,rs-485,devicenet,profibus
电源
±15v,24v,±8 ~ ±16 vdc or +14 ~ +28 vdc
阀类型
常开或常闭
温度系数
span: ≤±0.05% f.s./℃,zero:  ≤±0.05% f.s./℃
零点飘移指标
＜0.6%f.s. per year without autozero
电气连接
profibus,d sub 15 pins male,d sub 9 pins male,devicenet  male
工作压差范围
(0.05～0.35) mpa （f.s.≤10slm）,(0.1～0.35)mpa（10slm≤f.s.≤30slm）
漏率
1×10-10atm?cc / sec he（1×10-11 pa?m3 / sec he）
标准接头形式
双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套φ3 (仅适用于满量程≤5slm产品),双卡套φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),vcr1/4”,igs  w型,igs c型
表面化学成分
cro thickness ＞20 angstroms
表面粗糙度
10?inch
抗电磁干扰
ce
重量
1.2kg