1938年3月，the meccano magazine报道了一款搬运机器人模型，这是最早的关于以工业应用为目标的机器人模型的报道。它由griffithp．taylor于1935年设计，可以通过一个电动机实现5个轴的运动。到了1954年，美国的g.c.devol设计出第一台电子可编程序的工业机器人。而1960年美国amf公司生产了柱坐标型versatran机器人，可进行点位和轨迹控制，这是世界上第一种应用于工业生产的机器人。
在1974年，cincinnati milacron公司成功开发了多关节机器人。到了1979年，unimation公司推出puma机器人，它是一种多关节、全电机驱动、多cpu二级控制的机器人，采用val专用语言，可配视觉、触觉、力觉传感器，在当时是技术最先进的工业机器人。现在的工业机器人在结构上大体都以此为基础。这一时期的机器人属于“示教再现”（teach-in/playback）型机器人，只具有记忆、存储能力，按相应程序重复作业，对周围环境基本没有感知与反馈控制能力。
进入80年代，随着传感技术，包括视觉传感器、非视觉传感器以及信息处理技术的发展，出现了第二代机器人——有感觉的机器人。它能够获得作业环境和作业对象的部分相关信息，进行一定的实时处理，引导机器人进行作业。第二代机器人已在工业生产中得到了广泛应用。
目前各国正在研究的“智能机器人”，它不仅具有比第二代机器人更加优秀的环境感知能力，而且还具有逻辑思维、判断和决策能力，可根据作业要求与环境信息自主地进行工作。