a、精密度（短期稳定性）
测试方法：挑选典型元素不同浓度范围的样品，连续激发10个点，以数据的rsd评价仪器的精密度。需检验元素及浓度范围。
b、重复性
仪器稳定后，在仪器较好工作条件下，连续激发10次，测量某个低合金钢标准物质gbw01328~gbw01333（或gbw01211~gbw01216）中代表元素的含量，计算出平均值和相对标准偏差即重复性。
c、稳定性的检定
仪器开机稳定后，激发某个低合金钢标准物质gbw01328~gbw01333（或gbw01211~gbw01216）对被测元素进行测量。在4小时内，间隔15分钟以上，重复6次测量（期间不再标准化）。计算出平均值和相对标准偏差即稳定性。
d、再现性
再现性也就是仪器的稳定性，国标规定须测试4个小时内的再现性。