等离子清洗机(plasma cleaner)又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合,通过等离子清洗机的表面处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂.
等离子清洗机在镜片领域的应用能提升亲水性,等离子清洗机产生大量活性等离子体,其物理轰击可以清除镜片表面纳米级污染,其化学作用可以打断有机膜的键合使之变成二氧化碳和水,从而还原镜片洁净表面。
等离子清洗机能清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片,提升亲水性
等离子体清洗机在光学隐形眼镜上主要是在镀膜前活化隐形眼镜镜片的材料,和侵蚀材料表面,暴露出下面的表层。等离子清洗机可以替代难用又耗时而且价格还很昂贵的化学湿化方法。
等离子清洗机对于不同几何形状、表面粗糙度不同的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物品的表面,均可进行超清洁改性。等离子清洗机不仅可以清除材料表面的有机污染物;而且时序处理,速度快,清洗效率高。绿色环保,无化学溶剂,对材料及环境无二次污染。
关键词:等离子清洗机 电子显微镜
