低温粉体等离子处理设备是一种有效的表面改性技术，可对许多材料诸如金属、半导体高分子分子材料等进行表面改性。这种改性有许多明显的特点：仅发生在表面层，作用时间短，效率高，干净、不产生污染、操作方便等。
在电子、机械纺织、航天航空、生物医学等方面已有广泛应用。在纳米材料的应用是一个热点，由于纳米粉体材料本身团聚问题，纳米材料的表面改性也越来越受到重视。粉体等离子处理设备被看作是一种具有应用前景的方法。
粉体等离子处理设备等离子表面改性技术在粉体表面处理方面的应用主要在三个方面：等离子体刻蚀，等离子体辅助化学气相沉积、等离子体处理。
(1)等离子体刻蚀是指等离子体和高聚物的相互作用，使有选择与表面分子发生刻蚀，或表面的结构疏松部分和无序部分优先被刻蚀，可用于表面微结构发生变化，后接枝上新的官能团。
(2)等离子体辅助化学气相沉积是指通过等离子体表面活化引入活性基团，然后在此基础构成新表层或形成薄膜的方法。
(3)等离子体处理技术是指对材料表面或极薄表层的活化、在表面引入化学官能团。这方面研究开始得比较早，方法亦较简便，取得的成果也较多。
上述粉体等离子处理设备技术目前已实用化或接近实用化的应用有：聚合物表面活化，增进聚合物表面和其它材料的粘接性如与着色剂或油漆等的粘接；用于食品或医药包装，阻隔氧气，水蒸气或其它芳香性气体的透明介质阻隔膜；可用于羊毛或天然纤维的抗起球、起毛处理，增加纺织品的透湿性；用于人造血管或导管的抗栓塞，抗菌涂层；工具硬化土层，气液敏感薄膜元件等。