1) x光管的电极材料 目前x线荧光光谱仪基本上采用铑靶x光管，个别有钨靶x光管的。 a.铑(rh)靶：铑的特征譜线与镉的特征譜线重叠；铑电极发射强度不够高，对于镉的筛选排查不胜任。 b.钨(w)靶：钨的特征譜线远离rohs的5种元素特征譜线，无譜线重叠；发射强度高，能提高元素检测下限值。
2) 检测器 a.sdd：新型的sdd检测器属高纯硅检测器，稳定性好，检测灵敏度高。 b.硅锂检测器，漂移大，检测灵敏度低。
3) 检测方法和软件 a.fp法、部分检量线法：稳定性差。 b.带补正的相对检量线法：可以自动补偿环境条件变化、x光管老化、供电变化等对检测数据的影响。
4) x线束光斑直径 a.光斑直径大小在使用中会体现出一些差别。目前光斑直径从0.1mm到15mm不等。光斑小不受试样面积限制，光斑大受材料不均匀性影响小。 b.光斑大小间接反映x光束的能效。大光斑(几mm到十几mm)通常采用准直器整理光束，被遮挡部分白白浪费掉；1mm以下小光斑采用导管整理光束，能量损失较少。 c.光斑大小根据实际测量需要选择，光束能量损失通常制造商在软件、滤光片等方面做适当补偿。
5) 制冷方式： a.液氮制冷。液氮制冷是比较原始的制冷方式，其后续成本很高，危险，操作麻烦，必须专业人士才能操作 b.电制冷方式，比较新的一种技术，现在大多数厂家都是利用电制冷方式。
6）干扰 由于检测仪器除了自身的检测精度外，我们应该尽量的排除外界干扰。所以我们必须考虑的输入电源的稳定性，环境温度湿度的稳定性以及仪器自身是否采取的降低信噪比的措施。
总而言之，x荧光光谱仪(xrf)主要由激发源(x射线管)和探测系统构成。x射线管产生入射x射线(一次x射线)，激发被测样品，产生x荧光(二次x射线)，探测器对x荧光进行检测。所以在仪器使用中我们还要注意：
1、本仪器采用x光管产生激发源，因此，在不使用时，仪器会自动将x光管的高压断掉，使x光管的电源处理待机状态。此时，仪器将不会产生任何射线，同时大大延长x光管的寿命。
2、在放置样品时，只要开启防护罩，仪器也自动将x光管停止，不再产生x射线，*可以保护使用者的人身安全。
3、开启、关闭仪器盖子时，应轻开轻放。
4、设备使用的操作人员，必须要接受安全和操作培训后，才可上机，以确保设备的安全操作与正确使用。
5、养成正确使用设备的习惯
(1)开机顺序：开稳压电源——开测试仪及外部设备(显示器、打印机)——开计算机主机。
(2)关机顺序：退出测试程序——关计算机主机——关测试仪及外设——关稳压电源。
(3)不要频繁地开关机，电源的频繁通断给仪器造成的冲击不容忽视。
(4)在使用中严格按照操作规程来对仪器进行操作