答：此情况我认为是z轴的位置环超调或机械传动滞后造成的，因为z轴的伺服控制回路采用全闭环，因此虽 然z坐标在指令控制下精停在某位置，但是由于机械滞后的原因，使得z坐标在停止后，机械传动环节的内应力使 得z坐标停止后有时回动一下，即楼主说的，面板上显示跟随误差为0.005。
解决方法： 1.检查z轴的光栅尺读数头是否无损，如有污损用麂皮轻拭，再仔细安装回原位，试机，若故障依旧继续向下进 行，
2.检查z电机轴与丝杠的连接是否可靠，如正常，继续向下，
3.检查z坐标机械传动环节润滑良好否，如丝杠、导轨油膜厚度正常否，若正常继续向下，
4.脱开z电机轴与丝杠的连接，用手轻轻盘动z轴丝杠，注意必须正反向轻轻盘，感觉是否有顿滞感，若有，则轴 承、丝杠螺母损坏。 经过以上检查，基本可以判定并排除机床的故障。