在影像测量仪上的测量均是单轴或者是二维平面坐标的测量，测量时先对焦，后对准，再读数，后计算处理。读书来自于标尺即光栅系统，对焦对准依靠显微镜光学系统，还有一个直接影响测量效果和精度的照明光源，因为，基于影像的方法测量的仪器，如果被测件不能被有效的正确照明，则测量的结果显然要偏离其真实尺寸。除前述因素外，环境条件也是制约测量精度不可忽视的因素。那么这些误差是怎么来的呢？
1.光栅技术尺的误差
2.工作台移动时存在的直线度、角摆带来的误差
3.工作台两侧测量轴垂直带来的误差
4.显微镜光轴与工作台面不垂直带来的误差
5.测量室温度带来的误差
6.光源照明条件的变化带来的对焦和对准的误差
在这几种因素中，前四项误差是硬件误差，在影像测量仪制造过程中已经形成并固定下来，一般无法改变；温度影响带来的误差，通过控制测量室的温度和等温过程来减小其影响。
后一项常被忽视，而在实际测量中，当光源照明条件改变时，直接影响被测量工件的照明效果和影像质量，主要是因为影像测量仪的图像是通过ccd接收，尽管ccd具有自动调节增益的功能，但亮度过大时即失去调节功能，导致被测工件影像在缩小，当亮度过低时，工件影像反而变大。
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