t/cemia 032-2022显示面板用氧化层缓冲刻蚀液范围本标准规定了显示面板用缓冲氧化物刻蚀液的术语和定义、缩略语、分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全。本标准适用于由氢氟酸水溶液、氟化铵水溶液和表面活性剂混配而成的缓冲氧化物刻蚀液，应用于显示面板制造中氧化物层的刻蚀和清洗过程。术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义。缩略语下列缩略语适用于本文件。boe刻蚀液：缓冲氧化物刻蚀液。pfa：四氟乙烯—全氟烷氧基乙烯基醚共聚物，又称过氟烷基化物，可溶性聚四氟乙烯。分类显示面板用boe刻蚀液根据显示面板客户使用要求分为ⅰ级和ⅱ级。要求外观无色透明液体。主要化学成分显示面板用boe刻蚀液的主要化学成分应符合表1的规定。表面张力显示面板用boe刻蚀液的表面张力指标管控可由供应商与客户协商决定。颗粒数显示面板用boe刻蚀液的颗粒数应符合表2的规定。非金属杂质含量显示面板用boe刻蚀液的非金属杂质含量应符合表3的规定。金属杂质含量显示面板用boe刻蚀液的金属杂质含量应符合表4的规定。检验方法氢氟酸和氟化铵含量按 sj/t 11507-2015 中5.2氟化铵和氢氟酸含量的测定的规定进行。sj/t 11507-2015 集成电路用氧化层缓冲腐蚀液京都电子kem 自动电位滴定仪 at-710s