催化氧化反应塔内装填特制的固态复合填料，填料内部复合催化剂。当有机废气在引风机的作用下穿过填料层，与通过特制喷嘴化剂在固相填料表面充分接触，并在催化剂的催化作用下，有机废气中的污染因子被充分分解。适用范围广，尤其适用于处理大气量、中高浓度的废气，对疏水性污染物质有很好的去除率。
化学利用恶臭物质对光子的吸收而发生分解，同时反应过程产生的羟基自由基、活性氧等强化性基团也能参与氧化反应，从而达到降解恶臭物质的目的。适用于浓度较低，且能吸收光子的污染物质，可以处理大气量的、低浓度的有机废气，操作极为简单，占地面积小。对不能吸收光子的污染物质效果差，对于成分复杂的废气无法达到预期处理效果。
光氧催化是光化学和催化氧化方法的一种升级，它把光化学和催化氧化结合起来，处理效果更佳。