新款的fib设备已经到位，功能强大预计1月份面向社会服务
数据表
scios 2 dualbeam
通用型高性能双束系统
scios 2 dualbeam 提供佳的样品制备、内部及三维表征性能，可满足广泛类型样品的应用需求。
thermo scientifc™ scios™ 2 dualbeam™ 系统是一款超高分辨率分析系统，可为广泛类型的样品（包括磁性和不导电材料） 提供出色的样品制备和三维表征性能。 scios 2 dualbeam 系统创新性的功能设计，优化了其样品处理能力、分析精度和易用性， 是满足科学家和工程师在学术、政府和工业研究环境中进行研究和分析的理想解决方案。该系统于2013年推出市场，mtbf>1500hr，深受广大半导体用户爱戴。
高质量 tem 制样
科学家和工程师不断面临新的挑战，需要对具有更小特征的日益复杂的样品进行高度局部化表征。scios 2 dualbeam 系统的新技术创新，结合易于使用、全面的 thermo scientific
autotem™4软件（可选）和专业的应用知识，可快速轻松地定位制备各类材料的高分辨s/tem样品。 为了获得高质量的结果， 需要使用低能离子进行精抛，以大限度地减少样品的表面损伤。thermo scientific sidewinder™ht聚焦离子束（fib）镜筒不仅可以在高电压下提供高分辨率成像和刻蚀，而且具有良好的低电压性能，可以制备高质量的tem薄片。
高质量内部和三维信息
内部或三维表征有助于更好地理解样品的结构和性质， scios 2
dualbeam 系统配备 thermo scientific auto slice＆view™4
（as&v4）软件，可以高质量、全自动地采集多种三维信息，其中，三维 bse 图像提供佳材料衬度，三维 eds 提供成分信息， 而三维 ebsd 提供显微结构和晶体学信息。结合thermo scientific avizo™软件，scios 2 dualbeam 系统可为纳米尺度的高分辨、先进三维表征和分析提供*的工作流程解决方案。
仪准科技致力于失效分析设备研发及测试服务：手动探针台probe，激光开封机laser decap，iv自动曲线形测仪，微光显微镜emmi,红外显微镜
超高分辨成像并获取全面的样品信息
创新的nicol电子镜筒为scios 2 dualbeam 系统的高分辨率成像和检测功能奠定了基础。无论是在stem模式下以30 kev来获取结构信息，还是在较低的能量下从样品表面获取无荷电信息， 系统可在广泛的工作条件下提供出色的纳米级细节。系统*的镜头内thermo scientific trinity™检测技术可同时采集角度和能量选择性se和bse图像。无论是将样品竖直或倾斜放置进行观察，亦或者是观察样品截面，都可快速获取详细的纳米级信 息。可选配的透镜下探测器和电子束减速模式可确保快速、轻松 地同时采集所有信号，以显示材料表面或截面中的小特征。依托*的nicol镜筒设计和全自动合轴功能，用户可获得快速、准确且可重复的结果。
帮助所有用户提高生产力
scios 2 dualbeam系统可帮助所有经验水平用户更快、更轻松
地获得高质量、可重复的结果。系统提供用户向导，使新手用户可以轻松、快速地提高工作效率。此外，诸如“撤消”和“重做”之类的功能鼓励用户开展更多类型的实验。
真实环境条件的样品原位实验
scios 2 dualbeam系统专为材料科学中具挑战性的材料微观
表征需求而设计，配备了全集成化、极快速mems 热台μheater，
可在更接近真实环境的工作条件下进行样品表征。110毫米样品 台可倾斜至90?，优中心工作距离更大，确保了系统的灵活性。系统可选配低真空模式，可轻松兼容各种样品类型和数据采 集。同时，系统结合了扩展的沉积和蚀刻功能、优化的样品灵活 性和控制能力，成为通用的高性能fib / sem 系统，所有这些都由赛默飞的专业应用和服务支持。
w-mo-cu样品的三维重建，结合了bse（绿色-蓝色）和eds（橘色）三维 数据，使用scios 2 dualbeam系统、as&v4以及avizo软件生成。电子光学
nicol 非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有:
仪准科技致力于失效分析设备研发及测试服务：手动探针台probe，激光开封机laser decap，iv自动曲线形测仪，微光显微镜emmi,红外显微镜
·高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流
·60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品
·自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔
·连续电子束电流控制和优化的光阑角度
·电子枪安装和维护简单 – 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴
·两级扫描偏转
·双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜
·快速电子束闸*
·用户向导和镜筒预设
·电子源寿命至少24个月
电子束分辨率
佳工作距离下
·30kev 下 stem 0.7nm
·1kev 下 1.4nm 15kev 下 1.2nm
·1kev下 电子束减速模式 0.99nm*
电子束参数
·电子束流范围（数显，连续可调）：1pa – 400na
·加速及着陆电压：20v-30kv(连续可调)
·放大倍数范围：40x-1200x
·大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm
·导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度
离子光学
的大束流sidewinder离子镜筒
·加速电压范围：500 v - 30 kv
·离子束流范围：0.6pa – 65na（数值显示）
·15 孔光阑
·标配不导电样品漂移抑制模式
·离子源寿命至少1,300小时
·离子束分辨率：30 kv下 3.0 nm（采用选边统计平均值法）
探测器
·trinity 探测系统（透镜内和镜筒内）
-t1 分割式透镜内低位探测器
-t2 透镜内高位探测器
-t3可伸缩镜筒内探测器*
-可同步检测多达四种信号
·etd – everhart-thornley 二次电子探测器
·ice探测器 - 高性能离子转换和电子探测器，用于采集二次电子和二次离子*
·dbs – 可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射电子探测器*
·stem 3+ – 可伸缩分割式探测器(bf、df、haadf) *
·样品室红外 ccd 相机，用于样品台高度观察
·nav-cam™： 样品室内彩色光学相机，用于样品导航*
·电子束流测量*
样品台和样品
灵活五轴电动样品台：
·xy范围：110mm
·z范围：65mm
·旋转：360 °（连续）
·倾斜范围：-15°到 +90°
·xy重复精度：3μm
·大样品高度：与优中心点间隔85mm
·大样品质量（0°倾斜）：2kg（包括样品托）
·大样品尺寸：可沿x、y轴*旋转时直径为110mm（若样 品超出此限值，则样品台行程和旋转会受限）
·同心旋转和倾斜
仪准科技致力于失效分析设备研发及测试服务：手动探针台probe，激光开封机laser decap，iv自动曲线形测仪，微光显微镜emmi,红外显微镜
真空系统
·*无油的真空系统
·样品仓真空（高真空）：< 5.9 x 10 -6 mbar（24小时抽气后）
·抽气时间：208秒
·可选空压机和冷却循环水系统，分别用于冷却sem镜筒及其它部件
样品仓
·电子束和离子束夹角：52°，集成等离子清洗功能
·端口：21个
·内径宽度：379mm
样品托
·标准多功能样品托，以*方式直接安装到样品台上，可容纳18个标准样品托架（φ12mm）、3个预倾斜样品托、
2个垂直和2个预倾斜侧排托架*（38°和90°）