超纯水系统是指系统从原水至超纯水完整产生的生产系统。一般超纯水系统是经由多重过滤，离子交换，除气，逆渗透，紫外线，超滤，纳米率，离子吸附过滤所产生的超纯水。电阻率接近于18.3mω*cm。超纯水无硬度，口感较甜，又常称为软水，可直接饮用，也可煮沸饮用。当前，在生物、医药、汽车等领域广泛应用。
工艺流程
1:预处理-反渗透-纯化水箱-离子交换器-紫外灯-纯水泵-用水点
2:预处理-一级反渗透-二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯化水箱-纯水泵-紫外灯-用水点
3:预处理-反渗透-中间水箱-中间水泵-edi装置-纯化水箱-纯水泵-紫外灯-用水点
4:预处理→紫外线杀菌装置→一级ro装置→二级ro装置→中间水箱→edi装置→脱氧装置→氮封纯水箱→除tocuv装置→抛光混床→超滤装置→用水点
水质符合美国astm标准，电子部超纯水水质标准(18mω*cm，15mω*cm，2mω*cm和0.5mω*cm四级)
超纯水系统反渗透(膜分离)法超纯水制造技术
反渗透是用足够的压力使溶液中的溶剂(一般常指水)通过反渗透膜(一种半透膜)而分离出来，方向与渗透方向相反，可使用大于渗透压的反渗透法进行分离、提纯和浓缩溶液。反渗透膜的主要分离对象是溶液中的离子范围。
1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象（≥18mω.cm）(传统工艺)
2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→edi装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥18mω.cm）(最新工艺)
3、预处理→一级反渗透→加药机（ph调节）→中间水箱→第二级反渗透（正电荷反渗膜）→纯水箱→纯水泵→edi装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥17mω.cm）(最新工艺)
4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→edi装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥15mω.cm）(最新工艺)
5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象（≥15mω.cm）(传统工艺)以上工艺各有各的优势，你可以根据你自身的情况选购适合你的工艺。随着科学的发展，很多新的工艺已经替代了旧的