组成
光源
光源的功能是发射被测元素的特征共振辐射。对光源的基本要求是：发射的共振辐射的半宽度要明显小于吸收线的半宽度；辐射强度大；背景低，低于特征共振辐射强度的1%;稳定性好，30min之内漂移不超过1%;噪声小于0.1%;使用寿命长于·h.多用空心阴极灯等锐线光源。
原子化器
原子化器的功能是提供能量，使试样干燥、蒸发和原子化。在原子吸收光谱分析中，试样中被测元素的原子化是整个分析过程的关键环节。实现原子化的方法，zui常用有两种：一种是火焰原子化法（火焰原子化器），是原子光谱分析中zui早使用的原子化方法，至今仍在广泛地被应用；另一种是非火焰原子化法，其中应用zui广的是石墨炉电热原子化法。
分光器
分光器由入射和出射狭缝、反射镜和色散元件组成，其作用是将所需要的共振吸收线分离出来。分光器的关键部件是色散元件，商品仪器都是使用光栅。原子吸收光谱仪对分光器的分辨率要求不高，曾以能分辨开镍三线ni230.003,ni231.603,ni231.096nm为标准，后采用mn279.5和mn279.8nm代替ni三线来检定分辨率。光栅放置在原子化器之后，以阻止来自原子化器内的所有不需要的辐射进入检测器。
检测系统
原子吸收光谱仪中广泛使用的检测器是光电倍增管，一些仪器也采用ccd作为检测器。
列举部分仪器的个别参数，供参考：
（一）光学系统
波长范围：190nm~900nm
波长准确度：±0.2nm
波长重复性：±0.1nm
仪器光度误差：1.0abs时≤0.01abs,2abs时≤0.02abs
静态基线噪声：≤±0.001a/30min
动态基线噪声：≤±0.003a/30min
氘灯背景校正能力：大于50倍（1abs背景）塞曼背景校正能力：大于100倍（1abs背景）
氘灯、元素灯
（二）原子化系统
火焰分析特征浓度（cu）：0.02μg/ml/1%
检出限（cu）：0.006μg/ml
精密度：rsd≤1%
石墨炉分析特征量（cd）：0.4×10-12g
检出限（cd）：0.5×10-12g
精密度：rsd≤3%
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