扫描透射电镜是透射电子显微镜的一种发展。扫描线圈迫使电子探针在薄膜试样上扫描，与扫描电子显微镜不同之处在于探测器置于试样下方，探测器接受透射电子束流或弹性散射电子束流，经放大后，在荧光屏上显示与常规透射电子显微镜相对应的扫描透射电镜的明场像和暗场像。
仪器特点：
1、扫描透射电镜技术要求较高，要非常高的真空度，并且电子学系统比tem和sem都要复杂。
2、加速电压低，可显著减少电子束对样品的损伤，而且可大大提高图像的衬度，特别适合于有机高分子、生物等软材料样品的透射分析。
3、可以观察较厚的试样和低衬度的试样。
4、扫描透射模式时物镜的强激励，可以实现微区衍射。
5、应用扫描电镜的扫描透射电镜模式观察生物样品时，样品无需染色直接观察即可获得较高衬度的图像。
维护保养：
1、去掉防尘罩，打开电源。
2、将试样置于载物台垫片，调整粗/微调旋钮进行调焦，直到观察到的图像清晰为止。
3、调整载物台位置，找到要观察的视场，进行金相分析。
4、扫描电镜调焦时注意不要使物镜碰到试样，以免划伤物镜。
5.当载物台垫片圆孔中心的位置远离物镜中心位置时不要切换物镜，以免划伤物镜。
6、亮度调整切忌忽大忽小，也不要过亮，影响灯泡的使用寿命，同时也有损视力。
7、所有(功能)切换，动作要轻，要到位。
8、关机时要将亮度调到小。
9、非专业人员不要调整金相显微镜照明系统(灯丝位置灯)，以免影响成像质量。
10、更换卤素灯时要注意高温，以免灼伤；注意不要用手直接接触卤素灯的玻璃体。