硅晶圆的生产清洗用水主要应用的是超纯水设备所产出的超纯水，该设备主要采用的工艺为预处理+反渗透+edi模块组合形式。整体工艺具有高效低能、运行成本低，水资源利用率高、运行时间长等优势。超纯设备应用的工艺中的edi模块属于核心模块，在应用过程中不需要添加任何化学品，不仅减少了化学品运输问题，同时降低了系统运行费用。
硅晶圆生产应用的超纯水设备无须树脂更换，应用中体现除了自动化性能强，无须人工操作的优势，能够连续稳定地制备品质优良的超纯水，在符合硅晶圆生产用水水质标准的同时可以使水资源的利用率达到95%~99%，有效提升了水资源利用率。
以上就是全文。随着电子产品的不断发展，我国对于该行业的政策支持，使得硅晶圆的市场需求也在不断增加，超纯水设备的需求也在这样的环境中稳步上涨着。
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