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p12.xyz100c压电纳米定位台
p12.xyz100c压电纳米定位台的三维运动是采用串联形式，在设计过程中，将体积尽可能的缩小，它的体积仅80×80×45mm^3。中心具有φ40mm圆形通孔，适用于光的透射或结构的集成、放置。
电容式传感器闭环
p12.xyz100c压电纳米定位台采用电容式传感器进行闭环控制，内部具有3个电容传感器，分别对x、y、z三轴进行位移的实时测量及反馈。电容式传感器是一种非接触式测量，电容测头与被测面间的距离变化，即压电纳米定位台产生运动，改变与电容测头间的距离，引起电容传感器输出的电压值发生变化，电压值与纳米定位台的位移相对应。非接触式测量使得传感器与运动面间无接触，不会对位移台的运动产生额外影响，可保证非常好的精度及长期的稳定性，且响应速度非常快。
无磁
p12.xyz100c压电纳米定位台的另一个重要的特性是无磁，它采用无磁材料、无磁加工工艺，保证产品本身不会为所应用的系统环境带来额外的磁场，非常适用于要求无磁环境的应用。产品实测曲线
1）阶跃上升曲线经过实测，p12.xyz100c压电纳米定位台的阶跃上升时间约为100ms以内。
2）位移电压曲线p12.xyz100c压电纳米定位台的电压与位移曲线如下图所示。在闭环情况下，驱动控制电压与其产生的位移成线性关系。在130v的驱动电压下，位移可达90μm。
3）重复定位精度曲线在不同的百分比行程下，重复定位精度会有区别，这与使用的压电陶瓷的特性、柔性铰链结构等都有关系。经实测，p12.xyz100c压电纳米定位台的重复定位精度在整个位移范围内，可保持优于0.027%，在10%的行程下，重复定位精度可优于0.014%f.s.。应用
p12.xyz100c压电纳米定位台的高分辨率、高精度以及无磁材料的选用，使其非常适用于超分辨率显微镜、筛选、共聚焦显微镜、生物技术等。技术参数
p12.xyz100c压电纳米定位台的基本参数如下。型号 p12.xyz100c
运动自由度 x、y、z
传感器类型 cap电容式
行程范围(0~120v) 90μm/轴
分辨率 7nm
重复定位精度 优于0.027%f.s.
俯仰/偏航/滚动 ≦35μrad
带载阶跃时间 100ms
空载谐振频率 x:170hz，y:245hz，z:170hz
带载500g谐振频率 x:69hz，y:93hz，z:85hz
静电容量 3.6μf
承载能力 500g
注：以上参数是采用e00.d11al压电控制器进行测得。02
e00.d11al压电控制器
p12.xyz100c压电纳米定位台是采用e00.d11al压电控制器进行驱动控制。e00.d11al压电控制器是一台三通道输出、电容闭环的压电控制器，它可通过模拟信号或数字信号进行控制。它具有液晶键盘控制模块，也可通过rs-232、rs-422、usb等接口与上位机通信，进行软件控制。面板介绍
技术参数
e00.d11al压电控制器的基本技术参数如下，它是针对电容式闭环的压电纳米定位台而设计，不仅可驱动p12.xyz100c压电纳米定位台，还可与其他电容闭环压电纳米定位台兼容。型号 e00.d11al
通道数 3
模块输入范围 0~10v（可选0~5v等）
输出电压范围 -20~150v（可选120v等）
峰值电流 1a
平均电流 291ma
放大器带宽 10khz
纹波 10mvpp（加载2.2μf）
pzt连接器 era.00.250.ctl
控制输入连接器 bnc
传感
传感器类型 cap
伺服特性 模拟p-i+陷波滤波
传感输入接口 g10s0c-ft1ljg0-000l
传感输出连接器 era.0s.303.cll
传感器输出电压 0~10v
主控
通信接口 rs-232/422、usb
d/a转换器 16bit
a/d转换器 16bit
其他
工作温度范围 10~50°c
电流限制 短路保护
尺寸 长536×高175×深375mm
重量 约12kg
供电电压 ac220v，50hz
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